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    XQ15-GⅢ 实用型激光平面干涉仪

    XQ15-GⅢ 实用型激光平面干涉仪

    日期:2019-02-07 人气:
    XQ15-GⅢ 实用型激光平面干涉仪
    专利号:200620041101.4
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    用途和特点:
      在保留XQ15-GⅠ激光平面干涉仪的用途及特点的状况下,更具实用性,可更广泛适用于大批量生产单位的生产车间。检验车间的平面度、微小楔角测量,更适合于大平板生产流水线快速筛选的应用。

    技术参数:

    1. 第一标准平面(A面),工作直径D1=Φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

    2. 第二标准平面(B面),工作直径D2=Φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

    3. 准直系统-----------------工作直径Φ146mm,焦距 f = 400mm

    4. 光源规格-----------------激光ZN18(He-Ne)

    5. 干涉室尺寸----------------530×270×150mm

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