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    XQ20-GⅡ 大口径立式激光平面干涉仪

    XQ20-GⅡ 大口径立式激光平面干涉仪

    日期:2021-05-27 人气:

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    产品介绍:

    在传承XQ15-GⅢ激光平面干涉仪的实用性、耐用性的特点??筛惴菏视糜诖笈可ノ坏纳导浯罂诰镀矫婕袄饩灯矫娑燃觳?、微小楔角测量,更适合于大平板生产流水线快速筛选的应用。


    技术参数:

    1.第一标准平面(A面),工作直径D1=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

    2.第二标准平面(B面),工作直径D2=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

    3.准直系统…………………………工作直径Φ250mm,焦距 f = 580mm,波象差<λ/15

    4.工作室尺寸……………………………………………1100×1100×350mm

    5.光源规格……………………………………激光ZN250(He-Ne)(632.8nm)。

    6.仪器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)

    7.仪器质量…………………………………………150kg


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